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中国广东东莞正航仪器技能收拾检漏仪器
发布时间:2016-07-19
☀ 用于检漏的仪器有氦质谱检漏仪、卤素检漏仪、高频火花检漏器、气敏半导体检漏仪及用于质谱剖析的各种质谱计。
☀ 这儿首要介绍氦质谱检漏仪、卤素检漏仪、高频火花检漏器的作业原理、构造及国产检漏仪器的技能功能。
☀ 氦质谱检漏仪
☀ 氮质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器,它具有功能安稳、灵敏度高的特色。
☀ 是真空检漏技能中灵敏度,用得最遍及的检漏仪器氦质谱检漏仪是磁偏转型的质谱剖析计。
☀ 单级磁偏转型仪器灵敏度为lO-9~10-12Pam3/s,广泛地用于各种真空体系及零部件的检漏。
☀ 双级串联磁偏转型仪器与单级磁偏转型仪器相比较,本底噪声明显减小.其灵敏度可达10-14~10-15Pam3/s,适用于真空体系、零部件及元器材的检漏。
☀ 逆流氦质谱检漏仪改变了惯例型仪器的构造规划,被检件置于检漏仪主抽泵的前级部位,因而具有可在高压力下检漏、不必液氮及质谱室污染小等特色.适用于大漏率、真空清洁较差的真空体系的检漏,其灵敏度可达10-12Pam3/s。
☀ 作业原理与构造
☀ 氦质谱检漏仪由离子源、剖析器、搜集器、冷阴极电离规构成的质谱室和抽气体系及电气有些等构成。
☀ 单级磁偏转型氦质谱检漏仪
☀ 现以HZJ—l型仪器为例.介绍单级磁偏转型氦质谱检漏仪,其构造如图2所示。
东莞正航仪器详细图
☀ 在质谱室内有:由灯丝、离化室、离子加快极构成离子源;由外加均匀磁场、挡板及出口缝隙构成剖析器;由按捺栅、搜集极及高阻构成搜集器;榜首级扩大静电计管和冷阴极电离规。
☀ 质谱室的作业原理如图3所示。
东莞正航仪器详细图 
☀ 在离化室N内,气体电离成正离子,在电场作用下离子聚集成束并在加快电压作用下以必定的速度经过加快极S1的缝隙进入剖析器。
☀ 在均匀磁场的作用下,具有必定速度的离子将按圆形轨道运动,其偏转半径可按式(5)核算。
☀ 可见,当B和U为定值时,不一样质荷比me-1的离子束的偏转半径R不一样。
☀ 仪器的B和R是固定的,调理加快电压U使氦离子束[图中(me-1)2]刚好经过出口缝隙S2,抵达搜集器D,构成离子流并由扩大器扩大。
☀ 使其由输出表和音响指示反映出来;而不一样于氦质荷比的离子束[(me-1)1(me-1)3]因其偏转半径与仪器的R值不一样无法经过出口缝隙S2,所以被别离出来(me-1)2=4,即He+的质荷比,除He+以外,C卅很少,可疏忽。
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