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东莞正航仪器技能收拾超高真空比对校准体系的
发布时间:2015-12-31

真空体系极限真空度的测验
动态法真空比对校准体系设备开机作业正常后,首要对校准设备进行烘烤除气,从室温开端加热,以30 ℃/h 升温,10 h 后真空体系的烘烤温度升为300 ℃;翻开NEG 泵角阀,激活NEG 泵(激活温度为500 ℃,激活时刻2 h),然后封闭NEG 泵角阀。在300 ℃的温度下保持8 h 后,以30 ℃/h 的速率降温,10 h 后降到室温;翻开NEG 泵角阀对校准容器抽气,校准设备的真空度安稳后测得极限真空度为4.9×10-9 Pa。
真空体系校准规模的测验
用真空微调阀(15)调理稳压室中的压力,写入到校准室中,每个量程挑选3个校准点,观测微调阀是不是可以调出所请求校准规模的压力点。压力点的读数选用经校准过的IE514 型别离规,数据见表
正航仪器参数表图 
                         表1 校准规模调理读数表
从数据可以看出,可以满意校准规模的调理,真空微调阀的行程和均匀性都非常好,可在校准规模内调理所需的任一压力校准点。
组成规范不确定度的鉴定参阅规选用IE514 型别离规,经/极高真空校准设备校准的组成规范不确定度为2.5%。本底引进的不确定度为1.8%,计算不确定度为0.54%,则组成规范不确定度为3.2%,拓展不确定度9.6%(k=3)。
模仿校准在动态法真空比对校准体系上,用别离规作参阅规范对热阴极电离真空计进行比对模仿校准,首要验证微调阀的行程和安稳性,以及是不是可以满意实践的真空规的校准。详细在每个量程按3 个校准点进行校准,共校准3 个量程9 个点,彻底可以掩盖该设备的校准规模,校准数据见表2。
东莞正航仪器细节图 
                                表2 模仿校准数据
真空相对比对校准设备,可以用于真空规的动态直接比对校准,完毕曩昔用线性外推法进行真空规的校准,可以保证国防科技工业在真空区域真空量值的传递和一致。
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